扩散工艺操作
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【扩散设备】
扩散工艺要求如此高,那么这个设备到底长什么样?工艺又是如何进行的呢?需要测试什么参数才知道扩散做的PN结符不符合要求呢?
【扩散设备】
【扩散工艺】
【方阻测试】