干法刻蚀工艺
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湿法刻蚀是现在常用的刻蚀工艺,其刻蚀效果好,除掉了硅片背面的杂质,有利于提高太阳电池对太阳光长波的有效利用率。下面来一起学习湿法刻蚀的设备和工艺。