电容式传感器的工作原理
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电容式传感器的工作原理
1、工作原理
电容传感器的工作原理可以用平板电容器来说明。当忽略边缘效应时,其电容为

式中
A——两极板相互遮盖的有效面积(m2);
d——两极板间的距离,也称为极距(m);
ε ——两极板间介质的介电常数(F/m);
εr——两极板间介质的相对介电常数;
ε0——真空介电常数,ε0=8.85*10-12(F/m)。
固定三个参量中的两个,可以做成三种类型的电容传感器:变极距型、变面积型和变介质型。
2、类型
(1)变面积式电容传感器

直线位移型

角位移型

圆柱型电容传感器
(2) 变极距式电容传感器
当动极板受被测物体作用引起位移时,改变了两极板之间的距离d,从而使电容量发生变化。

(3)变介电常数式
因为各种介质的相对介电常数不同,所以在电容器两极板间插入不同介质时,电容器的电容量也就不同。


